| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZ3r59YDa/KnjUK |
| Repositório | sid.inpe.br/iris@1916/2006/03.06.16.44 |
| Última Atualização | 2006:03.06.16.44.00 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/iris@1916/2006/03.06.16.44.23 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.28.34 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-13575-PRE/8785 |
| ISSN | 0021-8979 |
| Chave de Citação | AlvesLiebVaheBird:1991:ShVoRa |
| Título | Sheath voltage ratio for asymmetric rf discharges  |
| Projeto | Simulações computacionais de fenômenos físicos em plasmas espaciais |
| Ano | 1991 |
| Mês | Apr |
| Data de Acesso | 21 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 675 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Alves, Maria Virgínia 2 Lieberman, M. A. 3 Vahedi, V. 4 Birdsall, C. K. |
| Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JHRS |
| Grupo | 1 LAP-INPE-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Laboratório Associado de Plasmas (INPE. LAP) 2 University of California, Department of Electrical Engineering and Computer Sciences and the Electronics Research Laboratory 3 University of California, Department of Electrical Engineering and Computer Sciences and the Electronics Research Laboratory 4 University of California, Department of Electrical Engineering and Computer Sciences and the Electronics Research Laboratory |
| Revista | Journal of Applied Physics |
| Volume | 69 |
| Número | 7 |
| Páginas | 3823-3829 |
| Histórico (UTC) | 2006-03-06 16:44:23 :: vinicius -> administrator :: 2006-09-28 22:35:48 :: administrator -> vinicius :: 2008-01-17 15:54:41 :: vinicius -> administrator :: 2008-06-10 22:04:00 :: administrator -> vinicius :: 2011-05-24 11:39:21 :: vinicius -> administrator :: 2018-06-05 01:28:34 :: administrator -> marciana :: 1991 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | PLASMA Spherical particle Cylindrical particles Radio frequency Discharges PLASMA Partículas esféricas Partículas cilíndricas Rádio freqüência Descargas |
| Resumo | Spherical and cylindrical many-particle models are used to simulate rf (radio frequency) discharges in which the rf powered and the grounded electrodes have different areas. This asymmetry determines the magnitude of the average plasma-to-electrode voltage I, (the ion bombarding energy) at the smaller powered electrode, which is a critical process parameter. A collisionless uniform ionization discharge model predicts that the voltage ratio V,/V, scales as the fourth power of the electrode area ratio AdA,, where V, is the potential drop at the other electrode. However, measurements indicate a much weaker dependence of V,/V, on the area ratio, which is also observed in our simulations. Over a limited range of area ratios it was found that the power dependence was close to one, in agreement with a local ionization discharge model. The simulation codes used are PDCl (plasma device cylindrical one-dimensional) and PDSl (plasma device spherical one-dimensional). |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Sheath voltage ratio... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZ3r59YDa/KnjUK |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZ3r59YDa/KnjUK |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | 22.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator vinicius |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | allowpublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.55.54 1 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |